一种KrF光刻胶及其制备方法和图案化方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116540493 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202310568802.1 (22)申请日 2023.05.19 (71)申请人 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 地址 361027 福建省厦门市海沧区东孚镇 山边路389号 (72)发明人 李禾禾　王静　王雪枫　毛鸿超　 (74)专利代理机构 厦门荔信律和知识产权代理 有限公司 35282 专利代理师 安龙 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/16 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)发明名称 一种KrF光刻胶及其制备方法和图案化方法 (57)摘要 本发明提供一种KrF光刻胶，其特征在于：按 重量百分比 ，包括超支化光致酸聚合树脂48 .5‑ 60.5％，淬灭剂0.5‑1％，流平剂0 .03‑0.5％，溶 剂50％‑72％；所述超支化光致酸聚合树脂由多 元醇、对羟基苯乙烯单体、烯基叔丁酯、光致酸单 体、4‑(1‑苯基‑1‑羟基乙基)苯乙烯超支化聚合 制得；所述4‑(1‑苯基‑1‑羟基乙基)苯乙烯超支 化接枝聚合在所述对羟基苯乙烯单体、烯基叔丁 酯、光致酸单体聚合后的端基区。同时，本发明还 提供了KrF光刻胶的制备方法及其图案化的方 法。本发明链式结构可减少易光酸的基团产生的 质子酸扩散到非曝光区域及减少了分子链缠结， A 提高分辨率、LER性能，并降低了Tg数值