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发明

光罩装载系统及光罩载入方法和光罩卸除方法2024

2024-04-21 07:50:24 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202410141230.3
  • 公开（公告）日：2024-04-19
  • 公开（公告）号：CN117908321A
  • 申请人：家登精密工业股份有限公司
摘要：本发明公开一种光罩装载系统及光罩载入方法和光罩卸除方法，包含：一第一接口；一第二接口；一第一升降设备，配置成使该光罩传送盒能于一顶部位置和一底部位置之间升降，当该光罩传送盒抵达该底部位置时，该光罩传送盒的一容置空间被开启而暴露于该装载环境；一第二升降设备，配置成使该光罩储存盒能于一顶部位置和一底部位置之间升降，当该光罩储存盒抵达该底部位置时，该光罩储存盒的一容置空间被开启而暴露于该装载环境；及一光罩夹持机构，配置成使一光罩或承载有该光罩的一基座能够在该光罩传送盒被开启所暴露的容置空间与该光罩储存盒被开启所暴露的容置空间之间转移。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117908321 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410141230.3 (51)Int.Cl . G03F 1/22 (2012.01) (22)申请日 2022.03.11 G03F 1/66 (2012.01) (30)优先权数据 G03F 7/20 (2006.01) 63/160,066 2021.03.12 US H01L 21/673 (2006.01) 63/249,155 2021.09.28 US 17/684,879 2022.03.02 US (62)分案原申请数据 202210242935.5 2022.03.11 (71)申请人 家登精密工业股份有限公司 地址 中国台湾新北市 (72)发明人 邱铭乾　庄家和　薛新民　温星闵　 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 专利代理师 韩嫚嫚　朱坤鹏 权利要求书3页 说明书27页 附图48页 (54)发明名称 光罩装载系统及光罩载入方法和光罩卸除

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