套刻测量装置、方法及其系统和程序2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117908333 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202310702575.7 (22)申请日 2023.06.14 (30)优先权数据 10-2022-0133289 2022.10.17 KR (71)申请人 奥路丝科技有限公司 地址 韩国京畿道 (72)发明人 黃松怡　林熙哲　郑东元　李旼虎　 孙玄圭　 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理 有限公司 51258 专利代理师 洪玉姬 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书5页 说明书15页 附图7页 (54)发明名称 套刻测量装置、方法及其系统和程序 (57)摘要 本发明涉及一种套刻测量装置、方法及其系 统。为此，根据本发明一实施例的套刻测量装置， 包括：收发部；以及与所述传输/接收部电连接的 处理器，所述处理器配置为 ：获取用户终端通过 所述收发部传输的数据；对包括在所述数据中的 配方进行分析 ；当完成针对所述配方的分析时， 基于所述配方执行与晶圆的测定选项相关的优 化过程。 A 3 3 3 8 0 9 7 1 1 N C CN 117908333 A 权　利　要　求　书 1/5页 1.一种套刻测量装置，其中，包括： 收发部；以及 处理器