一种柔性压力传感器的制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118090000 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410219596.8 (22)申请日 2024.02.28 (71)申请人 山东捷构信息科技有限公司 地址 250000 山东省济南市市中区二环南 路3366号利源花园2号楼3-401室 (72)发明人 王安炜　张超　王涛　 (74)专利代理机构 济南领升专利代理事务所 (普通合伙) 37246 专利代理师 王吉勇 (51)Int.Cl. G01L 1/22 (2006.01) G01L 5/00 (2006.01) G01N 33/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种柔性压力传感器的制备方法 (57)摘要 本发明涉及一种柔性压力传感器的制备方 法，属于传感器制备领域，包括以下步骤：步骤1、 制备柔性基底；步骤2：在两个步骤1得到的柔性 基底上分别形成叉指电极层和导电层；步骤3：柔 性压力传感器的制备；制作一份无气泡的PDMS ， 将PDMS涂在步骤2得到的叉指电极层和导电层的 RGO图案化电极之外的薄膜上，将叉指电极层和 导电层的柔性基板相对放置，以使两层相对贴 合，再放入恒温鼓风干燥箱中烘干、封装，得到所 述柔性压力传感器。 A 0 0 0 0 9 0 8 1 1 N C CN 118090000 A 权　利