一种精细微纳米玻璃结构的加工方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113788452 A (43)申请公布日 2021.12.14 (21)申请号 202111014187.7 (22)申请日 2021.08.31 (71)申请人 上海交通大学 地址 200240 上海市闵行区东川路800号 (72)发明人 权雪玲　程秀兰　刘民　付学成　 瞿敏妮　黄胜利　凌天宇　 (74)专利代理机构 上海段和段律师事务所 31334 代理人 李佳俊　郭国中 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) G03F 7/00 (2006.01) B82Y 30/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种精细微纳米玻璃结构的加工方法 (57)摘要 本发明公开了一种精细微纳米玻璃结构的 加工方法，包括如下步骤：准备玻璃基片，并进行 清洗吹干；当掩膜材料为非光刻胶材料，将掩模 薄膜沉积到玻璃基片上，再涂覆光刻胶；当掩膜 材料为光刻胶材料，在玻璃基片上涂覆光刻胶； 采用光刻的方式，将待加工的结构转移至基片表 面的光刻胶上；当掩膜材料为非光刻胶材料，先 对掩膜材料进行刻蚀，再对玻璃基片进行刻蚀； 当掩膜材料为光刻胶材料，仅对玻璃基片进行刻 蚀即可；利用干法刻蚀或湿法腐蚀的方法去除光 刻胶及掩膜材料，形成最终的玻璃器件结构。采 用本发明的制备工艺，可使得刻蚀玻璃速率达到