发明

一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机

2023-05-14 12:23:55 发布于四川 1
  • 申请专利号:CN202011628770.2
  • 公开(公告)日:2024-10-25
  • 公开(公告)号:CN114690577A
  • 申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
摘要:本发明涉及光刻机技术领域,公开一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机,其中管路柔性适应装置包括:包括连接簧片和隔振结构的柔性连接装置,连接簧片的一端通过隔振结构连接于气液分离装置上,连接簧片的另一端自由释放,连接簧片沿气液分离装置的高度方向布置;浸没流场管路,浸没流场管路包括回收管路和注入管路,回收管路的两端分别连通于浸没头和气液分离装置,注入管路的一端连通于浸没头,注入管路远离浸没头的部分连接于连接簧片上且沿连接簧片的高度方向布置,注入管路和回收管路靠近浸没头的部分布置于同一水平面上。通过上述结构,该管路柔性适应装置能够减小管路对浸没头以及气液分离装置的影响,有利于提高浸没式光刻机的精度。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690577 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011628770.2 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 上海微电子装备(集团)股份有限公 司 地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试 验区张东路1525号 (72)发明人 陈言亭 于宁  (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 孟金喆 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机 (57)摘要 本发明涉及光刻机技术领域,公开一种管路 柔性适应装置及浸没式光刻机,其中管路柔性适 应装置包括:包括连接簧片和隔振结构的柔性连 接装置,连接簧片的一端通过隔振结构连接于气 液分离装置上,连接簧片的另一端自由释放,连 接簧片沿气液分离装置的高度方向布置;浸没流 场管路,浸没流场管路包括回收管路和注入管 路,回收管路的两端分别连通于浸没头和气液分 离装置,注入管路的一端连通于浸没头,注入管 路远离浸没头的部分连接于连接簧片上且沿连 接簧片的高度方向布置,注入管路和回收管路靠 近浸没头的部分布置于同一水平面上。通过上述 A 结构,该管路柔性适应装置能够减小管路对浸没 7 头以及气液分离装置的影响,有利于提高浸没式 7 5 0 光刻机的精度。 9 6 4 1

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