一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690577 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011628770.2 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 上海微电子装备(集团)股份有限公 司 地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试 验区张东路1525号 (72)发明人 陈言亭　于宁　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 孟金喆 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机 (57)摘要 本发明涉及光刻机技术领域，公开一种管路 柔性适应装置及浸没式光刻机，其中管路柔性适 应装置包括：包括连接簧片和隔振结构的柔性连 接装置，连接簧片的一端通过隔振结构连接于气 液分离装置上，连接簧片的另一端自由释放，连 接簧片沿气液分离装置的高度方向布置；浸没流 场管路，浸没流场管路包括回收管路和注入管 路，回收管路的两端分别连通于浸没头和气液分 离装置，注入管路的一端连通于浸没头，注入管 路远离浸没头的部分连接于连接簧片上且沿连 接簧片的高度方向布置，注入管路和回收管路靠 近浸没头的部分布置于同一水平面上。通过上述 A 结构，该管路柔性适应装置能够减小管路对浸没 7 头以及气液分离装置的影响，有利于提高浸没式 7 5 0 光刻机的精度。 9 6 4 1