具有气密空腔的微机电装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113120851 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 201911390433.1 (22)申请日 2019.12.30 (71)申请人 财团法人工业技术研究院 地址 中国台湾新竹县 (72)发明人 李柏勋　陈明发　许郁文　黄肇达　 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陈小雯 (51)Int.Cl. B81B 7/00(2006.01) G01D 21/02(2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 具有气密空腔的微机电装置 (57)摘要 本发明公开一种具有气密空腔的微机电装 置，其中该微机电装置包括一基板、一固定电极、 一可动电极及一加热器。基板包含一上表面、一 内底面及一内侧面。内侧面环绕且连接内底面。 内侧面及内底面定义一凹槽。固定电极设置于内 底面。可动电极覆盖凹槽。可动电极、内底面及内 侧面定义一气密空腔。加热器位于可动电极上且 位于气密空腔上方。 A 1 5 8 0 2 1 3 1 1 N C CN 113120851 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种微机电装置，其特征在于，包括： 基板，包含：