描画装置、数据处理装置、描画方法、以及描画数据生成方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113448177 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110293334.2 (22)申请日 2021.03.18 (30)优先权数据 2020-052384 2020.03.24 JP (71)申请人 株式会社斯库林集团 地址 日本京都府 (72)发明人 鉈落信也　八坂智　增田胜太　 中津智史　 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人 向勇　宋晓宝 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G03F 9/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书14页 附图15页 (54)发明名称 描画装置、数据处理装置、描画方法、以及描 画数据生成方法 (57)摘要 数据处理装置生成表示以初始网格宽度对 初始描画数据所表示的初始描画区域进行分割 而得到的多个第一网格区域的各描画内容的第 一分割数据，基于第一基板的对准标记的位置， 根据重新配置后的各第一网格区域的位置，对各 第一网格区域的描画内容进行合成，生成第一描 画数据。数据处理装置生成表示以比初始网格宽 度大的网格宽度对第一描画数据所表示的第一 描画区域进行分割而得到的多个第二网格区域 的各描画内容的第二分割数据，基于第二基板的 对准标记的位置，根据重新配置后的各第二网格 A 区域的位置，对各第二网格区域的描画内容进行 7 合成，生成表示包含规定图案的第