一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118068057 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410217059.X (22)申请日 2024.02.28 (71)申请人 纳美半导体设备（广州）有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区方达路2 号5号厂房101房 (72)发明人 周军　钟国华　李雄　 (74)专利代理机构 广东灵顿知识产权代理事务 所(普通合伙) 44558 专利代理师 赖耀华 (51)Int.Cl. G01R 1/073 (2006.01) G01R 1/02 (2006.01) G01R 31/28 (2006.01) G01R 31/26 (2020.01) H05K 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图9页 (54)发明名称 一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台 (57)摘要 本发明涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一 种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括探 针装置；所述探针装置包括壳体以及抽气泵；所 述壳体内设有导风板；所述壳体转动设有探针 座；所述导风板与壳体之间形成有上气腔；所述 导风板与探针座之间形成有下气腔；所述壳体设 有进风口；所述进风口与下气腔连通；所述导风 板贯穿设有多个通风口；所述抽气泵与上气腔连 通；所述探针座的底部设有多个测试探针。本发 明通过设置抽气结构，在抽气泵的抽气作用下， 气体