一种具有氩气定位导向功能的单晶炉
- 申请专利号:CN202310330399.9
- 公开(公告)日:2023-05-30
- 公开(公告)号:CN116043329A
- 申请人:苏州晨晖智能设备有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043329 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310330399.9 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人 苏州晨晖智能设备有限公司 地址 215000 江苏省苏州市中国 (江苏)自 由贸易试验区苏州片区苏州工业园区 金鸡湖大道88号G3-2401 (72)发明人 陈伟 李林东 陈志军 吴超慧 张鹏 许堃 李安君 邢立勋 毛亮亮 (74)专利代理机构 苏州广正知识产权代理有限 公司 32234 专利代理师 李猛 (51)Int.Cl. C30B 27/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 (54)发明名称 一种具有氩气定位导向功能的单晶炉 (57)摘要 本发明涉及单晶生产技术领域,具体为一种 具有氩气定位导向功能的单晶炉,所述单晶炉包 括主炉室、副炉室和基座,所述副炉室设置在主 炉室的上方,所述主炉室设置在基座的上方,所 述副炉室的上端设置有氩气进气管,本发明相比 于目前的单晶炉设置有分流机构,通过分流机构 控制氩气的流动方向防止死角处的杂质无法被 流动的氩气带走,同时在热屏套靠近坩埚的一侧 产生一组气流防护层,以避免氩气在从坩埚内升 起时,携带的杂质和挥发物沾附到热屏套上,本 发明还设置有引流组件,通
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