发明

一种具有氩气定位导向功能的单晶炉

2023-05-10 10:20:45 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202310330399.9
  • 公开(公告)日:2023-05-30
  • 公开(公告)号:CN116043329A
  • 申请人:苏州晨晖智能设备有限公司
摘要:本发明涉及单晶生产技术领域,具体为一种具有氩气定位导向功能的单晶炉,所述单晶炉包括主炉室、副炉室和基座,所述副炉室设置在主炉室的上方,所述主炉室设置在基座的上方,所述副炉室的上端设置有氩气进气管,本发明相比于目前的单晶炉设置有分流机构,通过分流机构控制氩气的流动方向防止死角处的杂质无法被流动的氩气带走,同时在热屏套靠近坩埚的一侧产生一组气流防护层,以避免氩气在从坩埚内升起时,携带的杂质和挥发物沾附到热屏套上,本发明还设置有引流组件,通过引流组件能够提高硅原料的挥发物和残留空气的温度,以避免硅原料的挥发物和残留空气在流经引流组件时热量流逝,防止坩埚附近气体的温度降低。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043329 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310330399.9 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人 苏州晨晖智能设备有限公司 地址 215000 江苏省苏州市中国 (江苏)自 由贸易试验区苏州片区苏州工业园区 金鸡湖大道88号G3-2401 (72)发明人 陈伟 李林东 陈志军 吴超慧  张鹏 许堃 李安君 邢立勋  毛亮亮  (74)专利代理机构 苏州广正知识产权代理有限 公司 32234 专利代理师 李猛 (51)Int.Cl. C30B 27/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图8页 (54)发明名称 一种具有氩气定位导向功能的单晶炉 (57)摘要 本发明涉及单晶生产技术领域,具体为一种 具有氩气定位导向功能的单晶炉,所述单晶炉包 括主炉室、副炉室和基座,所述副炉室设置在主 炉室的上方,所述主炉室设置在基座的上方,所 述副炉室的上端设置有氩气进气管,本发明相比 于目前的单晶炉设置有分流机构,通过分流机构 控制氩气的流动方向防止死角处的杂质无法被 流动的氩气带走,同时在热屏套靠近坩埚的一侧 产生一组气流防护层,以避免氩气在从坩埚内升 起时,携带的杂质和挥发物沾附到热屏套上,本 发明还设置有引流组件,通

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