基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模型建立方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116009478 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202211131563.5 (22)申请日 2022.09.16 (71)申请人 大连理工大学 地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工 路2号 (72)发明人 蔡引娣　高英豪　付卿　尹科迪　 朱祥龙　康仁科　 (74)专利代理机构 大连星河彩舟专利代理事务 所(普通合伙) 21263 专利代理师 陈玲玉　杨阳 (51)Int.Cl. G05B 19/404 (2006.01) 权利要求书3页 说明书10页 附图4页 (54)发明名称 基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预 测模型建立方法 (57)摘要 本发明属于数控机床加工技术领域，提供了 基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模 型建立方法，该方法基于精密测量原理‑阿贝原 则和布莱恩原则探究由几何误差测量过程中测 量位置带来的测量误差对晶圆面形精度的影响， 建立几何误差与晶圆面形之间的映射关系。该模 型不仅考虑了磨削机床各轴系及各轴系间的几 何误差对晶圆面形的影响，还考虑了由几何误差 测量位置引起的测量误差对晶圆面形的影响，为 优化磨削机床和提高晶圆面形精度提供了理论 依据。 A 8 7 4 9 0 0 6 1 1 N C CN 116009478 A 权　利　要　求　书