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PCT发明

用于支撑和输送基板的系统和方法

2023-06-11 12:16:01 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980066654.5
  • 公开（公告）日：2024-04-16
  • 公开（公告）号：CN112888572A
  • 申请人：科迪华公司
摘要：一种系统可以包括：用于支撑基板的支撑表面；多个第一通道，其布置成分配第一气体的流动，以建立使基板浮动在支撑表面上方的气体承载；以及多个第二通道，其布置成分配第二气体的流动，以沿着支撑表面传送基板。一种方法可以包括：通过气体承载使基板浮动在基板支撑装置的支撑表面上方，在使基板浮起的同时，通过使气体向基板的表面且相对于基板的表面以非垂直的方向流动，从而沿着支撑表面输送基板。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112888572 A (43)申请公布日 2021.06.01 (21)申请号 201980066654.5 (74)专利代理机构 北京坦路来专利代理有限公 司 11652 (22)申请日 2019.10.04 代理人 索翌 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/743,900 2018.10.10 US B41J 29/06 (2006.01) 62/768,838 2018.11.16 US B41J 2/135 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B65G 51/03 (2006.01) 2021.04.09 H01L 21/677 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/683 (2006.01) PCT/US2019/054825 2019.10.04

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