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发明
一种MoTi合金靶材的制备方法2024
2024-12-18 11:37:26
发布于四川
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- 申请专利号：CN202411538955.2
- 公开（公告）日：2024-12-17
- 公开（公告）号：CN119140822A
- 申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种MoTi合金靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：混合钼粉与钛粉，得到混合粉末；然后将混合粉末进行冷等静压，得到钼钛生坯；然后对钼钛生坯进行真空烧结，得到所述MoTi合金靶材。本发明提供的制备方法无需热等静压，具有较高的效率以及较低的成本；而且，通过冷等静压与真空烧结的结合，能够提高烧结时的温度，从而能够得到较高致密度的MoTi合金靶材。
专利内容
本发明提供了一种MoTi合金靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：混合钼粉与钛粉，得到混合粉末；然后将混合粉末进行冷等静压，得到钼钛生坯；然后对钼钛生坯进行真空烧结，得到所述MoTi合金靶材。本发明提供的制备方法无需热等静压，具有较高的效率以及较低的成本；而且，通过冷等静压与真空烧结的结合，能够提高烧结时的温度，从而能够得到较高致密度的MoTi合金靶材。B22F3/04(2006.01);B22F1/052(2022.01);B22F3/10(2006.01);B22F9/04(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C14/14(2006.01);C22C27/04(2006.01);C22C1/04(2023.01)
