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PCT发明

具有阻尼结构的微机械传感器结构

2023-08-25 07:22:14 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202180081327.4
  • 公开（公告）日：2023-08-22
  • 公开（公告）号：CN116635324A
  • 申请人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种具有阻尼结构的微机械传感器结构(100)，包括：衬底(101)；相对于所述衬底(101)可弹性偏转的质量(103)；测量单元(105)，用于探测所述质量(103)的偏转；和阻尼结构(107)，用于以彼此嵌接的第一和第二阻尼梳(109，111)阻尼所述质量(103)的偏转，其中，所述第一阻尼梳(109)布置在所述质量(103)上，并且所述第二阻尼梳(111)可运动地布置在偏转结构(113)上，并且其中，在所述质量(103)沿第一方向(A1)偏转时，所述第二阻尼梳(111)通过所述偏转结构(113)相对于所述衬底(101)沿与所述第一方向(A1)相反的第二方向(A2)运动。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116635324 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202180081327.4 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 (22)申请日 2021.11.29 专利代理师 侯鸣慧 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 102020215238.1 2020.12.02 DE B81B 7/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.02 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2021/083326 2021.11.29 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/117494 DE 2022.06.09 (71)申请人 罗伯特 ·博世有限公司 地址 德国斯图加特 (72)发明人 M ·科斯特　J ·赖因穆特　 权利要求书2页 说明书8页 附图7页 (54)发明名称 具有阻尼结构的微机械传感器结构 (57)摘要 本发明涉及一种具有阻尼结构的微机械传

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