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PCT发明

防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置和防护膜的制造方法2024

2024-01-26 07:14:51 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202280032208.4
  • 公开（公告）日：2024-08-13
  • 公开（公告）号：CN117377909A
  • 申请人：三井化学株式会社
摘要：一种防护膜，其包含多个碳纳米管，上述多个碳纳米管的下述式(1)所表示的直线性参数的平均值为0.10以下。式(1)：直线性参数＝单管的宽度的标准偏差Sa/上述宽度的平均值Aa。上述式(1)中，上述单管表示上述多个碳纳米管所含的1根碳纳米管，上述标准偏差Sa和上述平均值Aa各自基于沿上述单管的长边方向每隔2nm间隔测定上述单管的宽度而得的11处的测定值来算出。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117377909 A (43)申请公布日 2024.01.09 (21)申请号 202280032208.4 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 (22)申请日 2022.08.25 专利代理师 钟海胜　郭玫 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 2021-138015 2021.08.26 JP G03F 1/62 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.10.31 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2022/032111 2022.08.25 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2023/027159 JA 2023.03.02 (71)申请人 三井化学株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 小野阳介　 权利要求书2页 说明书44页 附图13页 (54)发明名称 防护膜、防护膜组件、曝光原版、曝光装置和 防护膜的制造方法 (57)摘要 一种防护膜，其包含多个碳纳米管

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