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中空结构体及使用其的电子部件、负型感光性树脂组合物2023

2023-09-07 07:15:44 发布于四川 1
  • 申请专利号:CN202180087779.3
  • 公开(公告)日:2023-09-05
  • 公开(公告)号:CN116710391A
  • 申请人:东丽株式会社
摘要:本发明提供酸离子含量少、高温高湿条件下保存时的布线腐蚀少的中空结构体。本发明为从具有金属布线的基板的上表面起依次层叠有作为中空结构支撑材料的膜厚为5~30μm的有机膜(I)、和作为中空结构顶壁材料的膜厚为5~30μm的有机膜(II)的中空结构体,用下述离子溶出量的评价方法对所述有机膜(I)和所述有机膜(II)分别单独地进行评价时,有机膜(I)的离子溶出量和有机膜(II)的离子溶出量的合计为4000ppm以下。(离子溶出量的评价方法)将有机膜放入质量比为10倍量的纯水中,于100~121℃进行10~20小时热水萃取后,将萃取液的上清液作为检测液。向离子色谱分析装置导入检测液及目标离子的标准液,通过校正曲线法求得检测液中的甲酸离子、乙酸离子、丙酸离子和硫酸离子的浓度,将其合计换算为相对有机膜的质量而言的溶出离子质量,将换算而得的值作为离子溶出量。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116710391 A (43)申请公布日 2023.09.05 (21)申请号 202180087779.3 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2021.12.27 专利代理师 牛蔚然 (30)优先权数据 (51)Int.Cl . 2021-001217 2021.01.07 JP B81B 1/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2023.06.27 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2021/048513 2021.12.27 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2022/149521 JA 2022.07.14 (71)申请人 东丽株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 小山祐太朗 荒木齐  权利要求书4页 说明书26页 附图1页 (54)发明名称 量。 中空结构体及使用其的电子部件、负型感光 性树脂组合物 (57)

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