基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器及其制作方法2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109607469 A (43)申请公布日 2019.04.12 (21)申请号 201910011530.9 C01B 32/159(2017.01) G01B 7/16(2006.01) (22)申请日 2019.01.07 (71)申请人 四川理工学院 地址 644000 四川省宜宾市临港经济技术 开发区大学城188号 (72)发明人 郑富中　吴晨光　杨兴　周兆英　 吴英　蒲杰　张杰　 (74)专利代理机构 北京金宏来专利代理事务所 (特殊普通合伙) 11641 代理人 杜正国　陆华 (51)Int.Cl. B81B 3/00(2006.01) B81C 1/00(2006.01) B82Y 30/00(2011.01) B82Y 40/00(2011.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 基于单壁碳纳米管悬空结构的柔性传感器 及其制作方法 (57)摘要 本发明提供基于单壁碳纳米管悬空结构的 柔性传感器及其制作方法，利用硅微加工技术， 在柔性基底上设置电极对；然后通过交流耦合介 电电泳的方法，使单壁