一种碳化硅微盘谐振器、制备方法及光通信设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116880009 A (43)申请公布日 2023.10.13 (21)申请号 202310878973.4 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 张加祥　朱一帆　欧欣　伊艾伦　 秦源浩　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 黄盼 (51)Int.Cl. G02B 6/124 (2006.01) G02B 6/136 (2006.01) G02B 6/12 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图9页 (54)发明名称 一种碳化硅微盘谐振器、制备方法及光通信 设备 (57)摘要 本申请涉及集成光子学技术领域，尤其涉及 一种碳化硅微盘谐振器、制备方法及光通信设 备。谐振器包括碳化硅器件层；碳化硅器件层包 括微盘谐振腔、波导和至少一个光栅；微盘谐振 腔内形成有预设类型的色心；波导包括连接端和 至少一个光栅耦合端，连接端与微盘谐振腔的边 沿相接，每个光栅耦合端对应连接一个光栅 ；波 导用于将输入光栅的激发光波传输至微盘谐振 器，以激发色心发光；波导还用于耦合色心所发 出的色心荧光，并将色心荧光传输到光栅；光栅 用于接收输入激发光波，以及将色心荧光发射出 A 微盘谐振器。通过在碳化硅器件层中集成微盘谐