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PCT发明

用于平滑构件的表面区域的方法

2023-07-06 11:02:26 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980059829.X
  • 公开（公告）日：2024-10-25
  • 公开（公告）号：CN113840731A
  • 申请人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
摘要：本发明涉及一种使构件(11、21)的表面区域变得平滑的方法，该构件至少在表面区域内由导电材料构成，其中在真空室内借助至少一个具有第一表面能、聚焦的电子束(13、23)扫过构件(11、21)的表面区域，该第一表面能致使表面区域内的构件材料熔化，其中a)在熔化之前借助电子束(13、23)分别以电子束(13、23)的不同焦距(27a、27b、27c)至少两次扫过表面区域，其中，b)设定电子束(13、23)的第二表面能，该第二表面能不会致使表面区域中的构件材料熔化，其中c)借助多个布置在真空室内的传感器(14、24)采集表征由入射到传感器(14、24)上的背散射电子引起的电流的数据，其中d)在分析装置(15、25)内根据传感器(14、24)所采集的数据推导出所表面区域内的粗糙度的实际值，将该粗糙度的实际值与粗糙度的目标值进行比较，如果粗糙度的实际值未达到粗糙度的目标值，则根据比较结果确定第一表面能的值，然后e)借助电子束(13、23)以第一表面能扫过表面区域，而后继续执行方法步骤a)。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113840731 A (43)申请公布日 2021.12.24 (21)申请号 201980059829.X (74)专利代理机构 北京思益华伦专利代理事务 所(普通合伙) 11418 (22)申请日 2019.09.13 代理人 赵飞 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 102018122605.5 2018.09.14 DE B33Y 10/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B33Y 30/00 (2006.01) 2021.03.12 B33Y 40/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01J 37/30 (2006.01) PCT/EP2019/074525 2019.09.13 H01J 37/304 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/053407 DE 2020.

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