一种光阻供应系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112925170 A (43)申请公布日 2021.06.08 (21)申请号 202110117648.7 (22)申请日 2021.01.28 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 201315 上海市浦东新区良腾路6号 (72)发明人 潘浩吉　顾飞　吴越豪　 (74)专利代理机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 代理人 曹廷廷 (51)Int.Cl. G03F 7/16 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种光阻供应系统 (57)摘要 本发明提供了一种光阻供应系统，包括光阻 瓶、瓶口接头、插管、监测装置，所述插管穿过所 述瓶口接头伸入所述光阻瓶内，且所述插管的H 可调节，所述H为所述插管的底端相对于所述光 阻瓶的底部的最大高度，所述监测装置用于监测 所述H的调节情况并发出对应的信号指示。可见， 本发明通过设置监测装置实现对插管高度调节 的实时监测，并发出对应的信号指示，以提示工 作人员及时准确地调节插管高度，从而增加光阻 单瓶利用率，避免光阻浪费，减少生产成本，另 外，还可以避免出现插管负压引起的机台报警情 况。 A 0 7 1 5 2 9 2 1 1 N C CN 112925170 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种光阻