一种MEMS四合一单片集成传感器

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116621112 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310488581.7 (22)申请日 2023.05.04 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 陶虎　李晓辉　秦楠　 (74)专利代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 专利代理师 杨怡清 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种MEMS四合一单片集成传感器 (57)摘要 本发明提供一种基于MEMS技术的四合一单 片集成传感器及其制作方法。本发明的四合一单 片集成传感器在单个硅片上集成了多种传感器 的功能 ，可以同时测量压力、加速度、气体和湿 度，可用于复杂场景下的多参数同步检测。该四 合一集成传感器采用表面微机械加工工艺制作， 为了形成压力传感器、加速度传感器、气体传感 器和湿度传感器所需的空腔结构，采用SiO 填充 2 且使用HF溶液腐蚀多晶硅以释放腔体的方法，这 样不仅有利于各种功能传感器的工艺兼容，而且 也可以提高集成传感器的成品率。同时该集成传 感器的制作成本相对较低，适合于大批量生产。 A 2 1 1 1 2 6