一种消除系统误差的掠入射星形拼接检测方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117685903 A (43)申请公布日 2024.03.12 (21)申请号 202311822192.X (22)申请日 2023.12.27 (71)申请人 南京理工大学 地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫 200号 申请人 南京英特飞光电技术有限公司 (72)发明人 朱日宏　巫智勋　何勇　陈磊　 王青　王雨捷　杨旭　 (74)专利代理机构 南京理工大学专利中心 32203 专利代理师 朱沉雁 (51)Int.Cl. G01B 11/24 (2006.01) G01B 9/02055 (2022.01) 权利要求书3页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 一种消除系统误差的掠入射星形拼接检测 方法 (57)摘要 本发明公开了一种消除系统误差的掠入射 星形拼接检测方法。本发明使用掠入射干涉检测 设备得到被测元件表面子孔径压缩相位数据，分 别对子孔径相位数据进行解压缩，得到子孔径解 压相位数据。基于互为垂直方向的两个子孔径解 压相位数据重叠区域的相位值，计算得到“方向 x”与“方向y”的系统像散光圈PowerX和PowerY。 再对子孔径解压相位数据进行扣除系统像散光 圈与位姿校正操作，最终利用拼接融合算法得到 被测件全口径面形。本发明实现了掠入射干涉测 量拼接过程中系统像散光圈的消除，降低了掠入 A 射干涉测量系统装调精度的要求，极大地提高了 3