一种两旋转自由度同步控制精密转台装置及误差补偿方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116403633 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202310207627.3 (22)申请日 2023.03.07 (71)申请人 湘潭大学 地址 411105 湖南省湘潭市雨湖区湘潭大 学 (72)发明人 张越　许昌友　刘璇　廖常辉　 彭健彪　郑玲　雷贝　王涛　 董思雨　 (51)Int.Cl. G12B 13/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种两旋转自由度同步控制精密转台装置 及误差补偿方法 (57)摘要 本发明公开了一种两旋转自由度同步控制 精密转台装置及误差补偿方法，属于精密测量技 术及仪器技术领域。装置由X轴旋转控制单元Ⅰ、Y 轴旋转控制单元 Ⅱ、位姿测控单元Ⅲ三部分组 成，X轴和Y轴旋转控制单元相互独立，可实现两 自由度旋转量同步的精确控制，位姿测控单元可 实现零位定标，旋转量补偿，装置张紧等功能。本 发明同时提出了两旋转自由度同步控制精密转 台装置和误差补偿方法，通过线性光栅尺将位移 偏差值转化为旋转补偿量，并采用新方法补偿多 级传动所引入的传动误差和回差，以此克服两自 A 由度旋转量同步控制的精度不足和精密转台装 3 置小型化问题。 3 6 3 0 4 6 1 1 N C CN 116403633 A 权　利　要　求　书