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PCT发明

MEMS设备及其制备方法、电子设备

2023-06-23 07:23:49 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201980086980.2
  • 公开（公告）日：2024-08-20
  • 公开（公告）号：CN113348145A
  • 申请人：共达电声股份有限公司
摘要：一种MEMS设备、包括该MEMS设备的电子设备以及该MEMS设备的制备方法，该MEMS设备的薄膜结构(10)包括位于中间区域的具有第一刚性的第一刚性区域(110)和位于边缘区域的具有第二刚性的第二刚性区域(120)，第一刚性小于第二刚性，第二刚性区域包括至少一个从薄膜结构(10)表面向外延伸的凸起(122)。MEMS设备的制备方法包括提供基板(210)；在基板(210)上形成沟槽(212)；提供薄膜结构(10)。该MEMS设备通过增加支撑结构扩孔时的制程裕度，不会因为扩孔误差导致薄膜结构的第一刚性区域(110)的刚性发生实质性变化，从而避免影响MEMS设备的性能。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113348145 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 201980086980.2 (74)专利代理机构 广州华进联合专利商标代理 有限公司 44224 (22)申请日 2019.05.31 代理人 史治法 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 (51)Int.Cl. 2021.07.05 B81B 3/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 B81C 1/00 (2006.01) PCT/CN2019/089575 2019.05.31 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/237640 ZH 2020.12.03 (71)申请人 共达电声股份有限公司 地址 261200 山东省潍坊市坊子区凤山路 68号 (72)发明人 罗松成　詹竣凯　游博丞　谢冠宏　 方维伦　 (54)发明名称 MEMS设备及其制备方法、电子设备 (57)摘要 一种M

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