激光直写设备的数据处理方法、数据处理系统及相关设备

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116382042 A (43)申请公布日 2023.07.04 (21)申请号 202310387956.0 (22)申请日 2023.04.12 (71)申请人 深圳市先地图像科技有限公司 地址 518126 广东省深圳市宝安区航城街 道三围社区航空路西湾智园A3栋1层 (72)发明人 陈乃奇　柯喜　胡学艳　 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 (54)发明名称 激光直写设备的数据处理方法、数据处理系 统及相关设备 (57)摘要 本申请实施例提供了激光直写设备的数据 处理方法、数据处理系统及相关设备，预先在栅 格图像中的竖直线的左向扫描行像素点和右向 扫描行像素点之间设置像素偏移距离，使得在扫 描成像过程中产生的位置延迟可以与预先设置 的像素偏移距离抵消，从而可以通过检测左、右 向扫描行的像素曝光点重合于同一直线的第二 目标线段的方式，可视化测量左、右向扫描行的 像素曝光点的相对位置延迟距离，实现了相对位 置延迟距离的可视化检测。其次，可以根据检测 得到的相对位置延迟距离对所需扫描成像的目 A 标栅格图像中的左向或右向扫描行像素进行适 2 应性调整，修正了左向扫描行像素点和右向扫描 4 0 2 行像素点之间的相对位置延迟，提高了激光直写 8 3 6 设备的成像精度。 1 1 N C CN 116382042 A 权　利　要　求　书