微机电系统

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114644317 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202111061570.8 (22)申请日 2021.09.10 (30)优先权数据 17/214,953 2021.03.29 US (71)申请人 瑞声声学科技（深圳）有限公司 地址 518057 广东省深圳市南山区高新区 南区粤兴三道6号南京大学深圳产学 研大楼A座 (72)发明人 尤安 ·詹姆斯 ·博伊德　 (51)Int.Cl. B81B 3/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) H04R 19/04 (2006.01) H04R 19/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 微机电系统 (57)摘要 一种微机电系统，包括间隔层、第一波纹状 导电膜片和第二波纹状导电膜片。所述间隔层包 括沿第一方向延伸的对电极壁、狭槽和支撑壁。 所述对电极壁、狭槽和支撑壁在第二方向上交替 设置。所述第一波纹状导电膜片包括在第二方向 交替设置的第一波峰和第一波谷，所述第二波纹 状导电膜片包括在第二方向交替设置的第二波 峰和第二波谷。所述间隔层被接收在由所述第一 和第二波纹状导电膜片形成的腔体中。所述支撑 壁分别夹在对齐的所述第一波谷和第二波峰之 间。所述对电极壁分别悬置于在对齐的所述第一 波峰和第二波谷之间形成的对应腔室中。本发明 A 的微机电系统具有高水平的声音顺