利用粘滑驱动回退现象实现表面复合微纳结构加工的方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114057158 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111365888.5 (22)申请日 2021.11.18 (71)申请人 吉林大学 地址 130000 吉林省长春市前进大街2699 号 (72)发明人 黄虎　吴浩翔　张洪洋　李轩　 魏大禹　 (74)专利代理机构 吉林长春新纪元专利代理有 限责任公司 22100 代理人 王怡敏 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) H02N 2/02 (2006.01) H02N 2/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 (54)发明名称 利用粘滑驱动回退现象实现表面复合微纳 结构加工的方法 (57)摘要 本发明涉及一种利用粘滑驱动回退现象实 现表面复合微纳结构加工的方法，属于表面微纳 结构加工领域。在划痕过程中，将粘滑压电驱动 器作为划痕方向的驱动装置，利用粘滑压电驱动 器的回退现象使材料在划痕过程中发生堆积，进 而在划痕产生的微沟槽结构表面生成周期性的 栅状二级结构，即复合微纳结构；通过X‑Y电机平 台的运动使相邻两条划痕搭接，实现大面积复合 微纳结构的加工。本发明操作简单、加工效率高， 通过调节粘滑压电驱动器的驱动电压可获得不 同尺寸的表面复合微纳结构，一方面实现了粘滑 A 驱动回退现象的有效利用，另一方面为表面复合 8 微纳结