1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 物理
PCT发明

用于多个深紫外光学振荡器的控制系统

2023-07-07 07:07:08 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080037757.1
  • 公开（公告）日：2024-09-10
  • 公开（公告）号：CN113853551A
  • 申请人：西默有限公司
摘要：本发明提供了一种深紫外(DUV)光学系统，包括：光源系统，包括：多个光学振荡器；束组合器；以及在所述光学振荡器与所述束组合器之间的束控制装置。所述束组合器被配置为接收并朝向扫描器装置引导从所述光学振荡器中的任何光学振荡器发出的光作为曝光光束，并且所述束控制装置被配置为确定所述束组合器是否从所述光学振荡器中的特定光学振荡器接收光。所述DUV光学光刻系统还包括控制系统，被耦合到所述光源系统，所述控制系统被配置为：确定在所述DUV光学系统中是否存在条件，并且基于所述存在条件的确定，在所述光学振荡器的子集中执行校准动作。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113853551 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202080037757.1 E ·A ·梅森　 (22)申请日 2020.05.15 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (30)优先权数据 代理人 赵林琳 62/851,147 2019.05.22 US 63/006,162 2020.04.07 US (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.11.19 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/033263 2020.05.15 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/236648 EN 2020.11.26 (71)申请人 西默有限公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 赵颖博　W ·D ·吉莱斯皮　 J ·J ·索内斯　T ·P ·达菲　 权利要求书4页 说明书18页 附图5页 (54)发明名称 用于多个深紫外光学振荡器的控制系统 (5

最新专利

相关专利