非易失性存储器件和包括该存储器件的存储系统2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117672309 A (43)申请公布日 2024.03.08 (21)申请号 202311028190.3 (22)申请日 2023.08.15 (30)优先权数据 10-2022-0112690 2022.09.06 KR (71)申请人 三星电子株式会社 地址 韩国京畿道 (72)发明人 金度亨　金志荣　金智源　成锡江　 梁宇成　 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 专利代理师 张霞　周祺 (51)Int.Cl. G11C 16/06 (2006.01) H01L 21/768 (2006.01) H10B 41/40 (2023.01) 权利要求书3页 说明书13页 附图9页 (54)发明名称 非易失性存储器件和包括该存储器件的存 储系统 (57)摘要 提供了一种具有改进的裂纹检测可靠性的 非易失性存储器件。该非易失性存储器件包括： 字线，在第一方向上延伸；单元接触插塞，电连接 到字线并在与第一方向相交的第二方向上延伸； 网状裂纹检测电路，在字线上且不与字线接触； 以及环形裂纹检测电路，在字线上且不与字线接 触，其中，网状裂纹检测电路电连接到外围电路 区域中的裂纹检测晶体管，环形裂纹检测电路包 括在与第一方向和第二方向相交的第三方向上 延伸的第一裂纹检测金属布线、以及在第三方向 延伸的第二裂纹检测金属布线。 A