一种晶体薄膜波导三维电场信号传感器及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114924429 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210477432.6 (22)申请日 2022.05.04 (71)申请人 长春理工大学 地址 130000 吉林省长春市朝阳区卫星路 7089号 (72)发明人 孙德贵　罗梦希　金光勇　 (74)专利代理机构 长春众邦菁华知识产权代理 有限公司 22214 专利代理师 曲博 (51)Int.Cl. G02F 1/00 (2006.01) G02F 1/01 (2006.01) G02F 1/355 (2006.01) G02F 1/365 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种晶体薄膜波导三维电场信号传感器及 其制备方法 (57)摘要 一种晶体薄膜波导三维电场信号传感器及 其制备方法涉及光传感技术领域，该传感器自下 而上依次包括：晶体基底、第二台阶、第一台阶， 以及设置在晶体基底上，位于第二台阶两侧的金 属正负电极；第二台阶和第一台阶为一体化结 构，材料为电光效应系数高于400pm/V的晶体薄 膜；第一台阶与正负金属电极平行设置，且第一 台阶为脊条；光信号从第一台阶的脊条一端面输 入，形成导波模式，在第二台阶和脊条内形成的 波导通道中并传输，最后在其相对的另一端面输 出；金属负电极用作零线，在金属正电极处输入 A 一个调制电压，使波导通道的折射率发生变化，