一种声表面波谐振器和射频滤波器

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113098432 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110378687.2 (22)申请日 2021.04.08 (71)申请人 江苏卓胜微电子股份有限公司 地址 214072 江苏省无锡市滨湖区建筑西 路777号A3幢11层 (72)发明人 姚艳龙　宋崇希　邱鲁岩　王放　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 孟金喆 (51)Int.Cl. H03H 9/25 (2006.01) H03H 9/145 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种声表面波谐振器和射频滤波器 (57)摘要 本发明实施例提供一种声表面波谐振器和 射频滤波器，该声表面波谐振器包括：衬底；位于 衬底上的压电层；电极层位于压电层远离衬底的 一侧；电极层包括叉指式换能器，叉指式换能器 包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条 的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和 交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第 二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相 对设置，第一电极指和第二虚设电极之间具有第 一间隙，第二电极指和第一虚设电极指相对设 置，第二电极指和第一虚设电极之间具有第二间 隙；其中，各第一间隙沿第一方向排布，各第二间 A 隙沿第一方向排布。本发明实施例提供的声表面 2 波谐振器和射频滤波器，可以使横向模式波纹得 3