基于数字孪生的晶圆转运机械臂实时数据管理系统及方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117718949 A (43)申请公布日 2024.03.19 (21)申请号 202311800424.1 (22)申请日 2023.12.26 (71)申请人 苏州苏优信立智能科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市昆山花桥镇新 翠路165号2号房 (72)发明人 王洋洋　武永康　陈鑫　 (74)专利代理机构 深圳市徽正知识产权代理有 限公司 44405 专利代理师 杨琳 (51)Int.Cl. B25J 9/04 (2006.01) B25J 9/16 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图5页 (54)发明名称 基于数字孪生的晶圆转运机械臂实时数据 管理系统及方法 (57)摘要 本发明提供了基于数字孪生的晶圆转运机 械臂实时数据管理系统及方法，所述系统包括： 数据获取模块、管理分析模块、监控管理模块、数 据关联模块和自检溯源追踪模块。本发明通过对 各传感器检测、编码器数值、笛卡尔坐标系等监 测数据实时更新并呈现在软件界面上，能够准确 区分出数据来源于全自动机械臂设备的哪一类 型数据，准确定位出机械臂设备异常数据的种 类，提高了数据溯源的效率和准确性，便于及时 对状态进行处理和呈现，提高了实施呈现的效 率，并提高设备自动运行的稳定性。 A 9 4 9 8 1 7 7 1 1 N C CN 117718949 A 权　利　要　求　书