一种抛光石英舟端片的装置及其方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117733720 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202410193250.5 B24B 41/00 (2006.01) B24B 55/06 (2006.01) (22)申请日 2024.02.21 B24B 1/00 (2006.01) (71)申请人 辽宁拓邦鸿基半导体材料股份有限 公司 地址 113000 辽宁省沈阳市沈抚示范区沈 东四路89号 (72)发明人 韩皓　崔剑　姜姗　赵鹏　刘茂　 赵树君　崔冠利　张建　王铁　 王道征　邢洪超　孙超　 (74)专利代理机构 沈阳工匠智诚知识产权代理 事务所(普通合伙) 21256 专利代理师 孙楠 (51)Int.Cl. B24B 29/02 (2006.01) B24B 41/06 (2012.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图10页 (54)发明名称 一种抛光石英舟端片的装置及其方法 (57)摘要 本发明属于抛光设备技术领域，具体为一种 抛光石英舟端片的装置及其方法；包括支撑圆 柱，若干所述支撑圆柱共同连接底板，底板上设 有多轴位移