一种用于显微镜的实时自动对焦系统

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112415735 A (43)申请公布日 2021.02.26 (21)申请号 202010182470.X (22)申请日 2020.03.16 (71)申请人 中国科学院深圳先进技术研究院 地址 518055 广东省深圳市南山区深圳大 学城学苑大道1068号 (72)发明人 李思宏　黄术强　傅雄飞　于跃　 温慧　 (74)专利代理机构 北京市诚辉律师事务所 11430 代理人 耿慧敏 (51)Int.Cl. G02B 21/24 (2006.01) G02B 7/28 (2021.01) G02B 7/36 (2021.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 (54)发明名称 一种用于显微镜的实时自动对焦系统 (57)摘要 本发明公开了一种用于显微镜的实时自动 对焦系统。该系统包括红外光源模块、偏移透镜 光路模块、检测模块和对焦控制模块，其中，所述 红外光源模块用于发射平行激光光束；所述偏移 透镜光路模块将所述红外光源模块出射的平行 激光光束扩束为发散光，并通过显微镜物镜照射 样品界面，以使照射在样品反射界面处的激光衍 射光斑形成彗星形像差；所述检测模块将样品界 面反射形成的彗差形衍射光斑调制为线型光斑 并通过对该线型光斑分析获得当前视场下显微 系统的离焦量相关信息；所述对焦控制模块基于 获得的离焦量相关信息迭代控制显微镜物镜的 A 轴向运动，直至离焦量满