具有检测单元以便光学调整和图像修改的立体光刻设备
- 申请专利号:CN202080006515.6
- 公开(公告)日:2021-07-23
- 公开(公告)号:CN113165375A
- 申请人:登士柏希罗纳有限公司|||希罗纳牙科系统有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113165375 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202080006515.6 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所 有限公司 11038 (22)申请日 2020.03.11 代理人 王庆华 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 19020118.6 2019.03.11 EP B33Y 30/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2021.05.28 B33Y 50/02 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 B29C 64/129 (2006.01) PCT/EP2020/056495 2020.03.11 B29C 64/232 (2006.01) B29C 64/241 (2006.01) (87)PCT国