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发明

一种使用SOI圆片制作MEMS驱动臂的方法

2023-06-14 12:57:08 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN201911402850.3
  • 公开（公告）日：2024-07-02
  • 公开（公告）号：CN113120847A
  • 申请人：无锡微文半导体科技有限公司
摘要：一种使用SOI圆片制作电热式MEMS驱动臂的方法，包括如下步骤：步骤1）、选择SOI圆片作为衬底1；步骤2）、对顶硅层1‑3进行离子掺杂形成低阻硅，作为加热电阻层4；步骤3）、在加热电阻层4上制作绝缘材料作为绝缘层5；步骤4）、在绝缘层5上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构层6；步骤5）、刻蚀衬底1的底部至氧埋层1‑2；步骤6）、在衬底1的上部按照预先设计的MEMS驱动臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式MEMS驱动臂的制作，其中步骤5）和步骤6）可以互换。优点：硅既作为结构层的同时，又作为加热层，免除了还要做加热层的麻烦，采用离子注入的方法制作加热层，简化了电热式MEMS驱动臂的加热层的工艺步骤，提高了效率。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113120847 A (43)申请公布日 2021.07.16 (21)申请号 201911402850.3 (22)申请日 2019.12.31 (71)申请人 无锡微奥科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大 道200号中国传感网国际创新园C栋辅 楼302室 (72)发明人 王鹏　黄兆兴　谢会开　 (74)专利代理机构 无锡市朗高知识产权代理有 限公司 32262 代理人 赵华 (51)Int.Cl. B81B 3/00(2006.01) B81B 7/02(2006.01) B81C 1/00(2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图10页 (54)发明名称 一种使用SOI圆片制作MEMS驱动臂的方法 (57)摘要 一种使用SOI圆片制作电热式MEMS驱动臂的 方法，包括如下步骤：步骤1）、选择SOI圆片作为 衬底1；步骤2）、对顶硅层1-3进行离子掺杂形成 低阻硅，作为加热电阻层4；步骤3）、在加热电阻 层4上制作绝缘材料作为绝缘层5；步骤4）、在绝 缘层5上制作高热膨胀系数的材料作为第一结构 层6；步骤5）、刻蚀衬底1的底部至氧埋层1-2；步 骤6）、在衬底1的上部按照预先设计的MEMS驱动 臂形状进行正面图形化刻蚀；最终完成该电热式 MEMS驱动臂的

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