基于梁膜敏感和体压缩敏感的谐振式高压传感器
- 申请专利号:CN202310503291.5
- 公开(公告)日:2025-01-24
- 公开(公告)号:CN116539211A
- 申请人:中国科学院空天信息创新研究院
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116539211 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202310503291.5 (22)申请日 2023.05.06 (71)申请人 中国科学院空天信息创新研究院 地址 100190 北京市海淀区北四环西路19 号 (72)发明人 王军波 钱攀 余宗泽 鲁毓岚 谢波 陈德勇 (74)专利代理机构 北京科迪生专利代理有限责 任公司 11251 专利代理师 金怡 (51)Int.Cl. G01L 9/00 (2006.01) G01L 7/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 基于梁膜敏感和体压缩敏感的谐振式高压 传感器 (57)摘要 本发明提出了一种基于梁膜敏感和体压缩 敏感的谐振式高压传感器。结构设计时采用了复 合压力敏感原理,即利用梁膜敏感原理高灵敏度 优点和体压缩敏感原理高耐压强度优点,达到传 感器压力增敏和量程扩展的效果。本发明采用两 个小型化谐振腔结构,耐压性大大提高,且谐振 腔中心位置的谐振梁上轴向应力分布均匀可提 高谐振频率的稳定性;除此之外,不同宽度的谐 振腔结构可实现双谐振器的正负灵敏度匹配,在 满足高灵敏、高耐压性前提下,还可通过差分进 一步实现温度原位自补偿、提高灵敏度和线性 A 度。 1 1 2 9 3 5 6 1 1 N C CN 116539211 A