一种石英薄环退火支撑治具2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117023957 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310890852.1 (22)申请日 2023.07.19 (71)申请人 杭州大和热磁电子有限公司 地址 310051 浙江省杭州市滨江区滨康路 668号、777号 (72)发明人 项瀚翀　吴然红　杨军　 (74)专利代理机构 杭州杭诚专利事务所有限公 司 33109 专利代理师 汪利胜 (51)Int.Cl. C03B 25/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图8页 (54)发明名称 一种石英薄环退火支撑治具 (57)摘要 本发明公开了一种石英薄环退火支撑治具， 旨在解决现有技术中石英薄环进行退火加工时 容易扭曲变形 ，缺少对薄环起到支撑作用的治 具。本发明通过以下技术方案解决上述技术问 题：包括：中心基座包括两块平行设置的中心盘， 两个中心盘之间的设置有若干个中心轴，若干个 中心轴沿中心盘的圆周方向进行布置；转动盘转 动设置在中心基座的外围，转动盘包括两块平行 且同心设置的转动环，转动环之间设置有若干个 与中心轴对应的转动轴；支撑臂设置有若干个， 支撑臂的一端转动设置在中心轴上，支撑臂沿其 长度方向贯穿设置有长槽，转动轴穿设在长槽 A 内。通过转动转动盘，使得支撑臂支撑在石英薄 7 环的内侧壁，起到支撑的作用，从而起到防止石 5 9 3 英薄环变形的作用。 2 0 7 1 1 N C