一种KrF光刻胶及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114253072 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202111650135.9 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人 苏州瑞红电子化学品有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区吴中经 济开发区民丰路501号 (72)发明人 陈韦帆　徐亮　郑祥飞　黄巍　 (74)专利代理机构 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人 李鑫伟 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 (54)发明名称 一种KrF光刻胶及其制备方法 (57)摘要 本申请涉及光刻胶的领域，具体公开了一种 KrF光刻胶及其制备方法。KrF光刻胶，由包括以 下重量份的原料制备而成：聚对羟基苯乙烯系树 脂100份、光致酸产生剂1‑5份、酚醛树脂2‑20份 以及溶剂400‑600份。KrF光刻胶的制备方法，包 括以下步骤：按配方取各原料、混合均匀以及过 滤灌装。本申请通过酚醛树脂的网络状分子结 构，而使酚醛树脂和聚对羟基苯乙烯系树脂相互 交联在一起，形成一个稳定的整体；同时，通过酚 醛树脂与基材之间良好的润湿性，而使酚醛树脂 与基材形成稳定的连接；通过酚醛树脂的桥梁作 用，能够提高聚对羟基苯乙烯系树脂和基材之间 A 的结合性，从而大大改善了光刻图形倒塌的问 2 题，提高了光刻图形的质量。 7 0 3 5 2 4 1 1 N