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发明

一种晶圆检查与清洁设备

2023-06-02 13:43:55 发布于四川 3
  • 申请专利号：CN202011272273.3
  • 公开（公告）日：2025-07-29
  • 公开（公告）号：CN112570306A
  • 申请人：马达西奇（苏州）智能装备科技有限公司
摘要：本发明涉及一种晶圆检查与清洁设备，包括内部气压大于外界气压的设备壳体、安装在设备壳体内部用于放置晶圆盒的工作台、设置在工作台下方的顶升错位组件及顶升旋转组件、设置在工作台上方用于与顶升错位组件配合实现检查工作的识别相机、设置在工作台上方用于与顶升旋转组件配合完成清洁工作的清洁器；所述工作台放置晶圆盒的正下方设置有空腔，所述顶升错位组件及顶升旋转组件下方设置有驱动其分别对应运动至空腔下方的横行模组，并实现上升贯穿空腔与晶圆下端相抵；本发明用于实现晶圆的检查与清洁，减少晶圆因搬运破损或排序不对导致后续事故发生，工作过程中可以减少人工，增加效率。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112570306 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 202011272273.3 H01L 21/66 (2006.01) (22)申请日 2020.11.13 (71)申请人 马达西奇（苏州）智能装备科技有限 公司 地址 215131 江苏省苏州市相城区太平街 道聚金路11号二层西 (72)发明人 李光　 (74)专利代理机构 苏州尚为知识产权代理事务 所(普通合伙) 32483 代理人 陈钢 (51)Int.Cl. B07C 5/34 (2006.01) B07C 5/02 (2006.01) B07C 5/36 (2006.01) B08B 5/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种晶圆检查与清洁设备 (57)摘要 本发明涉及一种晶圆检查与清洁设备，包括 内部气压大于外界气压的设备壳体、安装在设备 壳体内部用于放置晶圆盒的工作台、设置在工作 台下方的顶升错位组件及顶升旋转组件、设置在 工作台上方用于与顶升错位组件配合实现检查 工作的识别相机、设置在工作台上方用于与顶升 旋转组件配合完成清洁工作的清洁器；所述工作 台放置晶圆盒的正下方设置有空腔，所述顶升错 位组件及顶升旋转组件下方设置有驱动其分别 对应运动至空腔下方的横

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