加工装置中的照明器的亮度的调整方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113253543 A (43)申请公布日 2021.08.13 (21)申请号 202110096717.0 (22)申请日 2021.01.25 (30)优先权数据 2020-010716 2020.01.27 JP (71)申请人 株式会社迪思科 地址 日本东京都 (72)发明人 大森崇史　宫田谕　 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 代理人 乔婉　于靖帅 (51)Int.Cl. G03B 15/03 (2021.01) 权利要求书2页 说明书12页 附图9页 (54)发明名称 加工装置中的照明器的亮度的调整方法 (57)摘要 本发明提供加工装置中的照明器的亮度的 调整方法，降低照明器间的亮度差异。在第1加工 装置中，存储装置将通过以由第1控制值指定的 照明器的亮度对被加工物的规定图案进行拍摄 而得到的样本图像与第1控制值一起存储并与加 工条件一起复制并存储在第2加工装置的存储装 置中，在第2加工装置中，存储装置存储通过以由 不同的多个控制值指定的照明器的亮度对被加 工物的规定图案进行拍摄而得到的多个比较图 像，对样本图像和多个比较图像进行比较，将拍 摄相对于样本图像的明暗的差最小的比较图像 时的控制值确定为第2控制值，将第2控制值与第 A 1控制值之差作为第2加工装置相对于第1加工装 3 置的控制值的校正值而设定在第2加工装置中。 4 5 3 5 2 3 1 1