便捷测量光掩模上光罩护膜蒙贴位移量的方法及光掩模

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116047858 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211623777.4 (22)申请日 2022.12.16 (71)申请人 广州新锐光掩模科技有限公司 地址 510555 广东省广州市(中新广州知识 城）亿创街1号406房之518 (72)发明人 田正洲　葛海鸣　包忍　 (74)专利代理机构 北京清大紫荆知识产权代理 有限公司 11718 专利代理师 赵然　黄贞君 (51)Int.Cl. G03F 1/44 (2012.01) G01B 5/02 (2006.01) G01D 5/26 (2006.01) G03F 1/84 (2012.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 便捷测量光掩模上光罩护膜蒙贴位移量的 方法及光掩模 (57)摘要 本申请提供一种便捷测量光掩模上光罩护 膜蒙贴位移量的方法及光掩模，涉及光掩模的技 术领域，其步骤如下：在光掩模表面设置标尺，标 尺以光掩模表面设置的定位线为基准，标尺每格 度数的量级为微米级；蒙贴光罩护膜于光掩模的 表面；通过显微镜观测光罩护膜的边沿在标尺上 的读数，得出光罩护膜于光掩模表面蒙贴的位移 量。通过设置标尺，利用光掩模上预先设置的标 尺，对光罩护膜于光掩模表面蒙贴的位移量进行 测量，只要借助显微镜辅助即可，无需使用标注 差量测基台，降低了检测光罩护膜蒙贴位移量所 A 需成本