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PCT发明

气动系统、压印装置及其用途

2023-06-11 13:38:22 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN201980075230.5
  • 公开（公告）日：2024-10-18
  • 公开（公告）号：CN113015939A
  • 申请人：皇家飞利浦有限公司
摘要：一种压印基板(180)的方法，包括：将承载压印图案(106)的柔性印模(104)固定到包括孔(112)的阵列的第一载体(102)，所述孔通过气体压力将所述柔性印模拉向第一载体或将其推开；将其推到第二载体(170)，第二载体(170)承载具有抗蚀剂层(182)的基板(180)，留下间隙(190)，以创建在柔性印模与基板之间的可控的接触区，和在第一载体与柔性印模之间的空间(196)；逐渐将柔性印模的区域推入抗蚀剂层中以对其进行压印；显影抗蚀剂层；并且通过连续的孔施加抽吸逐渐释放柔性印模，同时控制气体通过尚未被抽吸的孔向空间(196)的向内流动，以便此处将空间(196)保持高于环境但低于预定最大压力。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113015939 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 201980075230.5 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 (22)申请日 2019.11.08 代理人 孟杰雄 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 18206182.0 2018.11.14 EP G03F 7/00 (2006.01) 18206617.5 2018.11.15 EP (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.05.14 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/080698 2019.11.08 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/099265 EN 2020.05.22 (71)申请人 皇家飞利浦有限公司 地址 荷兰艾恩德霍芬 (72)发明人 M ·A ·维尔斯储雷恩　 权利要求书2页 说明书18页 附图8页 (54)发明名称 气动系统、压印装置及其用途 (57)摘要

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