基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112194096 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 202011131772.0 (22)申请日 2020.10.21 (71)申请人 中北大学 地址 030051 山西省太原市学院路3号 (72)发明人 王任鑫　刘骁　朱晓航　张国军　 张文栋　 (74)专利代理机构 太原科卫专利事务所(普通 合伙) 14100 代理人 朱源　侯小幸 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图12页 (54)发明名称 基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及 其加工方法 (57)摘要 本发明公开了一种基于MEMS的压电式仿生 耳蜗纤毛感受器及其加工方法，涉及MEMS在助听 方面的应用技术领域，压电式仿生耳蜗纤毛感受 器，包括基底和聚丙烯纤毛，基底包括金属铜上 电极、聚偏氟乙烯薄膜与金属铝下电极，聚偏氟 乙烯薄膜位于金属铜上电极与金属铝下电极之 间，三者固定连接且外围呈方框状，外围的方框 内部其中一对相对的边之间为波浪形状的纤毛 固定梁，聚丙烯纤毛垂直固定于纤毛固定梁的中 心处。本发明通过刻蚀以及腐蚀等工艺在上下具 有金属电极铜和铝的PVDF薄膜上进行蚀刻，可以 A 有效提高传感器的电压信号输出并且在体积更 6 小，功耗更低的基础上实现耳蜗基底膜的频率分 9 0 4 选功能，而且加工工艺简单