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发明

用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置2025

2023-09-24 07:18:22 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202310586122.2
  • 公开（公告）日：2025-05-02
  • 公开（公告）号：CN116770231A
  • 申请人：北方夜视技术股份有限公司
摘要：本发明涉及光电倍增管加工技术领域，具体而言涉及用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置，包括：蒸发电极，包括正极以及负极；蒸发源结构，所述蒸发源结构的第一端连接到所述正极，所述蒸发源结构的第二端连接到所述负极；蒸发材料层，连接到所述蒸发源结构；其中，所述蒸发源结构包括蒸发面，所述蒸发材料层连接到所述蒸发面。利用面蒸发源的优势提升其镀膜的均匀性，从而提升器件的量子效率均匀性。且片状面蒸镀装置镀膜方向仅朝向玻璃光窗，其他方向被其自身蒸发源薄片挡住，不会蒸镀到陶瓷等不需要镀膜的位置，可改善整管的噪声特性。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116770231 A (43)申请公布日 2023.09.19 (21)申请号 202310586122.2 C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/18 (2006.01) (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人 北方夜视技术股份有限公司 地址 650217 云南省昆明市经济技术开发 区红外路5号 (72)发明人 王亮　王兴超　周帆　任玲　 司曙光　金睦淳　张昊达　纪路路　 侯巍　汤偲晨　 (74)专利代理机构 南京行高知识产权代理有限 公司 32404 专利代理师 王培松　张康 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/30 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书3页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其制作 方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置 (57)摘要 本发明涉及光电倍增管加工技术领域，具体 而言涉及用于光电倍增管镀膜的蒸镀装置及其 制作方法、装置以及光窗镀膜的蒸镀方法、装置， 包括 ：蒸发电极，包括正极以及负极 ；蒸发源结 构，所述蒸发源结构的第一端连接到所述正极， 所述

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