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PCT发明

用于放电激光器的传导构件

2023-05-10 11:41:12 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080070914.9
  • 公开（公告）日：2024-08-27
  • 公开（公告）号：CN114514477A
  • 申请人：西默有限公司
摘要：一种准分子激光器，包括放电室(12)和传导构件(22)，该传导构件(22)用于传导与激光器的放电室中的放电相关联的电流，该传导构件包括至少一个通道(26a至26d)，该至少一个通道(26a至26d)被配置用于：相对于传导构件的中心部分(34)中的电流流动路径，增加传导构件的端部分(32,34)中的电流流动路径，该传导构件被配置用于将激光器连接到电压源(24)，并且被配置为电压源与激光器的放电室之间提供接口。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114514477 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202080070914.9 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2020.09.25 专利代理师 赵林琳 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/914,359 2019.10.11 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.04.08 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/052736 2020.09.25 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/071681 EN 2021.04.15 (71)申请人 西默有限公司 地址 美国加利福尼亚州 (72)发明人 A ·J ·小艾芬伯格　U ·尼曼　 权利要求书3页 说明书14页 附图8页 (54)发明名称 用于放电激光器的传导构件 (57)摘要 一种准分子激光器，包括放电室(12)和传导 构件(22)，该

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