一种三自由度柔性并联运动平台及系统

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116092571 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202211618791.5 (22)申请日 2022.12.15 (71)申请人 齐鲁工业大学 地址 250399 山东省济南市长清区大学路 3501号 (72)发明人 鲁帅帅　董浩　刘鹏博　 (74)专利代理机构 济南圣达知识产权代理有限 公司 37221 专利代理师 刘天柱 (51)Int.Cl. G12B 5/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 (54)发明名称 一种三自由度柔性并联运动平台及系统 (57)摘要 本发明公开了一种三自由度柔性并联运动 平台及系统，涉及微运动平台技术领域，采用微 型直线伺服驱动器配合变直径螺旋型柔性铰链 驱动动平台，能够实现动平台可在大行程运动范 围的同时保证其运动精度，并进一步增加了视觉 检测系统 ，对动平台的位姿进行在线高精度测 量，形成闭环反馈控制，解决开环带来的运动误 差；具体方案如下：一种三自由度柔性并联运动 平台 ，包括固定平台，固定平台上设有三条支链 和动平台，三条支链呈120°旋转对称均匀分布在 动平台外围，每条支链一端连接动平台，另一端 连接微型直线伺服驱动器，所述支链包括至少两 A 个串联的变直径螺旋型柔性铰链，微型直线伺服 1 驱动器驱动支链位移以实现动平台水平和竖直 7 5 2 方向的位移。 9 0 6 1 1 N C CN 11