MEMS惯性器件自动化标定测试系统及方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112697173 A (43)申请公布日 2021.04.23 (21)申请号 202110132458.2 (22)申请日 2021.01.31 (71)申请人 南京理工大学 地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫 200号 (72)发明人 王博浩　张琨　牛仁杰　张孟军　 程玉　陈帅　马一鸣　 (74)专利代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 薛云燕 (51)Int.Cl. G01C 25/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图3页 (54)发明名称 MEMS惯性器件自动化标定测试系统及方法 (57)摘要 本发明公开了一种MEMS惯性器件自动化标 定测试系统及方法。系统包括测试计算机、程控 直流电源、数据采集与处理单元以及测试电缆、 测试工装、测试机柜。方法包括：1.系统的零偏稳 定性和量程标定：将产品安装在三轴转台上，使 产品的待测轴向与转台的转动轴平行，接通电源 将产品预热，设定三轴转台的运行模式，记录系 统输出的数据并处理，获取相应的标定参数； 2.MEMS加速度计的零偏稳定性标定：将产品安装 在三轴转台上，使产品的加速度输入基准轴垂直 与地球重力方向，接通电源将产品预热，记录系 统输出的数据并处理，获取相应的标定参数。本 A 发明能够实现MEMS惯性器件自动化标定测试系 3 统的准确、高效标定。 7 1 7 9 6 2 1 1