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PCT发明

用于制造集成MEMS换能器设备的方法和集成MEMS换能器设备

2023-06-11 13:25:28 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980074084.4
  • 公开（公告）日：2024-07-19
  • 公开（公告）号：CN112996746A
  • 申请人：希奥检测有限公司
摘要：一种用于制造集成微机电系统MEMS换能器设备的方法，该方法包括向衬底主体(1)提供表面、在该表面上沉积蚀刻停止层ESL(8)、在该ESL(8)上沉积牺牲层(3)、在该牺牲层(3)上沉积隔膜层(6)、以及去除牺牲层(3)。沉积牺牲层(3)包括沉积第一材料的第一子层(4)和沉积第二材料的第二子层(5)，其中第一材料和第二材料是不同的材料。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112996746 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201980074084.4 威廉 ·弗雷德里克 ·阿德里亚努 斯 ·贝斯林　 (22)申请日 2019.11.04 索菲 ·吉耶曼　耶格 ·西格特　 (30)优先权数据 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事 18207101.9 2018.11.19 EP 务所(普通合伙) 11413 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 代理人 侯丽英　刘继富 2021.05.10 (51)Int.Cl. (86)PCT国际申请的申请数据 B81C 1/00 (2006.01) PCT/EP2019/080091 2019.11.04 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/104178 EN

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