用于制造集成MEMS换能器设备的方法和集成MEMS换能器设备
- 申请专利号:CN201980074084.4
- 公开(公告)日:2024-07-19
- 公开(公告)号:CN112996746A
- 申请人:希奥检测有限公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112996746 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 201980074084.4 威廉 ·弗雷德里克 ·阿德里亚努 斯 ·贝斯林 (22)申请日 2019.11.04 索菲 ·吉耶曼 耶格 ·西格特 (30)优先权数据 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事 18207101.9 2018.11.19 EP 务所(普通合伙) 11413 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 代理人 侯丽英 刘继富 2021.05.10 (51)Int.Cl. (86)PCT国际申请的申请数据 B81C 1/00 (2006.01) PCT/EP2019/080091 2019.11.04 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/104178 EN