一种超高真空二维材料制备系统及制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114057159 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202111366454.7 (22)申请日 2021.11.18 (71)申请人 仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司 地址 314001 浙江省嘉兴市南湖区亚太路 906号(中科院三期)17号楼2楼203室 (72)发明人 王文杰　 (74)专利代理机构 杭州衡峰知识产权代理事务 所(普通合伙) 33426 代理人 陈修伟 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图6页 (54)发明名称 一种超高真空二维材料制备系统及制备方 法 (57)摘要 本发明提供一种超高真空二维材料制备系 统及制备方法，旨在解决现有的用机械剥离法制 备二维材料的方式一般都在大气环境下进行，大 气下的氧气很容易将二维材料氧化，进而改变所 制备的二维材料的性质，无法获得准确二维材料 观测和检测数据的问题，超高真空二维材料制备 系统包括系统支架，所述系统支架上通过固定架 安装有超高真空腔体，超高真空腔体的内腔中设 有用于二维材料样品在超高真空环境下制备的 二维材料操作机构，且超高真空腔体上设有：真 空腔门；长焦显微镜；真空泵组，用于对超高真空 A 腔体的内腔抽真空；真空计；观察窗；样品架传样 9 杆；样品抓手传样杆。本发明尤其适用于二维材 5 1 7 料的精细制备，具有较高的社会使用价值和应用 5 0 4